书目详细信息
： 微纳米加工技术及其应用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-04-016880-4:CNY40.20 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳米加工技术及其应用/.崔铮著 |
| 出版发行项： | 北京:,高等教育出版社:,2005.6 |
| 载体形态项： | 293页:;+图:;+24cm |
| 相关题名附注： | 英文并列题名取自封面 |
| 提要文摘： | 本书集作者多年来的实践经验与研究成果，系统地介绍了微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、X射线曝光技术、各种刻蚀技术和微纳米尺度的复制技术。对各种加工技术着重讲清原理，列举基本的工艺步骤，说明各种工艺条件的由来，并注意给出典型工艺参数。 |
| 并列题名： | Nanofabrication Technologies and Applications eng |
| 题名主题： | 纳米材料 加工工艺 |
| 题名主题： | 纳米材料 应用 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | 崔铮 著 |
| 记录来源： | CN GGDT 20050828 |