书目详细信息
： 微机电系统设计及应用探究
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5578-8047-7:CNY86.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 220000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统设计及应用探究/.吴倩楠著 |
| 出版发行项： | 长春:,吉林科学技术出版社:,2021 |
| 载体形态项： | 177页:;+图:;+26cm |
| 提要文摘： | 《微机电系统设计及应用探究》一书中讲述的微机电系统涉及多学科交叉, 具有能够在狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境的特点, 有着广泛的应用前景。本书结合当前微机电系统的科学研究, 对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍, 使读者对微机电系统的设计与制造有一个比较完整的了解, 为开展微机电系统的研究奠定必要的基础。 |
| 题名主题： | 微电机 系统设计 应用 研究 |
| 中图分类： | TM380.2 |
| 个人名称等同： | 吴倩楠 著 |