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书目详细信息： 纳米CMOS器件

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《纳米CMOS器件》

ISBN/价格：	7-03-011163-X:CNY45.00
作品语种：	chi
出版国别：	CN 110000
题名责任者项：	纳米CMOS器件/.甘学温等编著
出版发行项：	北京:,科学出版社:,2004.1
载体形态项：	344页:;+24cm
一般附注：	中国科学院科学出版基金资助出版
提要文摘：	本书共六章。内容涉及CMOS器件等比例缩小的发展趋势，缩小到纳米尺寸的CMOS器件面临的挑战，实现纳米图形尺寸的光刻技术等。
题名主题：	半导体器件纳米材料
题名主题：	半导体器件
题名主题：	纳米材料
中图分类：	TN303
个人名称等同：	甘学温编著
记录来源：	CN GGDT 20040225

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