书目详细信息
： 微机电系统设计与制造
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-118-04121-1:CNY32.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统设计与制造/.刘晓明, 朱钟淦编著 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2006.1 |
| 载体形态项： | 371页:;+图:;+24cm |
| 一般附注： | 电子科技大学研究生系列教材建设项目 |
| 相关题名附注： | 并列题名取自封面 |
| 提要文摘： | 本书概要地介绍MEMS的设计与制造，全书共分7章，内容包括：MEMS的概论，MEMS的设计，集成电路（IC）基本制造技术，MWMS的制造技术，微传感器，微执行器以及MEMS的应用及检测技术。 |
| 并列题名： | MEMS Design and Manufacture eng |
| 题名主题： | 微电机 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | 刘晓明 编著 |
| 个人名称等同： | 朱钟淦 编著 |
| 记录来源： | CN GGDT 20060928 |