书目详细信息
： 集成电路制造大生产工艺技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-308-23349-1:CNY198.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 330000 |
| 题名责任者项： | 集成电路制造大生产工艺技术/.吴汉明主编 |
| 出版发行项： | 杭州:,浙江大学出版社:,2023 |
| 载体形态项： | 668页:;+图，照片:;+26cm |
| 提要文摘： | 本书共六篇24章，分别对晶体管工作原理，基础工艺技术，大生产制造工艺流程中的相关技术、工艺集成和工艺模块(短流程)，芯片制造中的一些实例，以及制造与设计的互相支撑关系等作了介绍。 |
| 并列题名： | Integrated circuit manufacturing process technologies of mass production eng |
| 题名主题： | 集成电路工艺 教材 |
| 中图分类： | TN405 |
| 个人名称等同： | 吴汉明 主编 |