书目详细信息
： 现代集成电路制造技术原理与实践
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-121-07753-1:CNY49.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 现代集成电路制造技术原理与实践/.李惠军编著 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2009.5 |
| 载体形态项： | 13, 435页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 电子信息与电气学科规划教材.电子科学与技术专业 |
| 一般附注： | 普通高等教育“十一五”国家级规划教材 |
| 提要文摘： | 本书介绍当代集成电路制造的基础工艺，重点介绍基本原理，并就当前集成电路芯片制造技术的最新发展做了较为详尽的阐述。 |
| 分集： | 电子科学与技术专业 |
| 题名主题： | 集成电路工艺 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TN405 |
| 个人名称等同： | 李惠军 编著 |
| 记录来源： | CN GGDT 20091019 |