书目详细信息
： 中国电子信息工程科技发展研究,集成电路芯片制造工艺专题
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-062359-1:CNY48.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 中国电子信息工程科技发展研究/.中国信息与电子工程科技发展战略研究中心 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2019.10 |
| 载体形态项： | 72页:;+图:;+21cm |
| 提要文摘： | 本书试图以产业发展主流工艺为导向，侧重原理和产业应用实际相结合技术介绍，尽量了避免冗长深奥的物理和化学公式和原理推导。定性地对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述，并在单项工艺角色介绍后，解释了具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。重点介绍了芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径。最后讨论了芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。给读者一个大生产中芯片制造的概况了解，读者可以针对自己的兴趣进一步阅读学习相关文献，了解工艺环节中的细节，从而能得以深造。 |
| 题名主题： | 电子信息 信息工程 科技发展 研究 中国 |
| 题名主题： | 集成芯片 制造 科技发展 研究 中国 |
| 中图分类： | G203 |
| 中图分类： | TN43 |
| 团体名称等同： | 中国信息与电子工程科技发展战略研究中心 编著 |