书目详细信息
： 微机电系统设计与加工
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-111-28597-7:CNY63.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统设计与加工/.(美) Mohamed Gad-el-Hak编/.张海霞, 赵小林等译 |
| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2010.2 |
| 载体形态项： | X, 536页, [4] 页图版:;+图:;+27cm |
| 丛编项： | 国际机械工程先进技术译丛 |
| 提要文摘： | 本书是MEMS系列图书的一本，主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的知识。内容包括：MEMS中的材料，MEMS制造，LIGA及其微模压，基于X射线的加工，EFAB技术及其应用，单晶SiC MEMS制造、特性与可靠性，用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀，聚合物微系统：材料和加工，光诊断方法考察微流道的入口长度，应用于航空航天的微化学传感器，恶劣环境下的MEMS器件封装技术，纳机电系统制造技术，分子自组装基本概念及应用。 |
| 并列题名： | MEMS Design and Fabrication eng |
| 题名主题： | 微电机 系统设计 |
| 题名主题： | 微电机 加工 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | 盖德 编 |
| 个人名称次要： | 张海霞 译 |
| 个人名称次要： | 赵小林 译 |