书目详细信息
： 固体薄膜材料与制备技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-021206-1:CNY30.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 固体薄膜材料与制备技术/.宁兆元 ... [等] 编著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2008.6 |
| 载体形态项： | 131页:;+图:;+24cm |
| 一般附注： | 并列题名：Thin Solid Film Materials and Preparation Technology |
| 提要文摘： | 全书共10章，第1章主要介绍了薄膜材料的基本概念、特征，并扼要介绍了薄膜材料的物性和结构的分析方法。第2章和第3章讲述的是有关薄膜制备技术中涉及的基础知识。第4章和第5章是本书的重点，着重讨论了制备薄膜材料的物理气相沉积技术和化学气相沉积技术的基本原理和方法。第6章讨论了薄膜材料的厚度和沉积速率的检测方法。第7～10章则有选择地介绍了当前国际上研究的几种热点薄膜材料的制备和检测技术。 |
| 并列题名： | Thin Solid Film Materials and Preparation Technology eng |
| 题名主题： | 薄膜 工程材料 |
| 题名主题： | 薄膜技术 |
| 中图分类： | TB43 |
| 个人名称等同： | 宁兆元 编著 |
| 记录来源： | CN GGDT 20090420 |