书目详细信息
： 聚焦离子束:失效分析
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-305-28496-0:CNY68.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 320000 |
| 题名责任者项： | 聚焦离子束/.邓昱 ... [等] 著 |
| 出版发行项： | 南京:,南京大学出版社:,2024 |
| 载体形态项： | 250页, 12页图版:;+图 (部分彩图):;+23cm |
| 提要文摘： | 本书力求从简要、易懂、可操作性强的编写角度出发, 概述聚焦离子束在各类失效分析中的应用原理、方法及重要性, 并从实际工作角度出发, 举例说明聚焦离子束在失效分析中的具体应用及注意要点; 同时给出了聚焦离子束原位分析方法、应用及过程, 介绍了聚焦离子束的最新自动化操作方向的发展及实际案例。 |
| 题名主题： | 集成电路工艺 离子束加工 |
| 中图分类： | TN405.98 |
| 个人名称等同： | 邓昱 著 |
| 个人名称等同： | 陈振 著 |
| 个人名称等同： | 汪林俊 著 |