书目详细信息
： 微机电系统设计与制造
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-5025-5237-5:CNY30.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统设计与制造/.莫锦秋 … [等]编著 |
| 出版发行项： | 北京:,化学工业出版社:,2004.3 |
| 载体形态项： | 177页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 光机电一体化丛书 |
| 提要文摘： | 本书主要从普及的角度介绍微机电系统及其相关技术，全书共分12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。 |
| 题名主题： | 微电机 机电系统 |
| 题名主题： | 微电机 |
| 题名主题： | 机电系统 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | 莫锦秋 编著 |
| 记录来源： | CN GGDT 20040630 |