书目详细信息
： 微电子制造技术概论
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-302-20818-1:CNY19.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微电子制造技术概论/.严利人, 周卫, 刘道广编著 |
| 出版发行项： | 北京:,清华大学出版社:,2010.3 |
| 载体形态项： | 164页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 微电子与集成电路技术丛书 |
| 提要文摘： | 本书介绍和描述了集成电路工艺制造的成套工艺流程和各工艺单步的技术内容。对于流程的介绍，除举例和说明一般性流程特点之外，专有一章说明了流程调度实施的技术与算法；对于各工艺单步，首先根据各单项工艺技术的作用进行了粗略分类，在此基础上，从工艺原理、工艺设备技术特点、实践操作等不同侧面，进行了略做扩展的描述。 |
| 并列题名： | IC Fabrication eng |
| 题名主题： | 微电子技术 概论 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 严利人 编著 |
| 个人名称等同： | 周卫 编著 |
| 个人名称等同： | 刘道广 编著 |