书目详细信息
： 等离子体放电与材料工艺原理
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-121-28022-1:CNY128.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 等离子体放电与材料工艺原理/.(美) Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著/.蒲以康等译 |
| 版本项： | 第2版 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2018.1 |
| 载体形态项： | 28, 536页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 经典译丛.微电子学 |
| 提要文摘： | 本书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。 |
| 题名主题： | 等离子体 放电 |
| 中图分类： | O53 |
| 个人名称等同： | 力伯曼 著 |
| 个人名称等同： | 里登伯格 著 |
| 个人名称次要： | 蒲以康 译 |