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书目详细信息： 硅集成电路工艺基础

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《硅集成电路工艺基础》

ISBN/价格：	7-301-06507-8:CNY28.00
作品语种：	chi
出版国别：	CN 110000
题名责任者项：	硅集成电路工艺基础/.关旭东编著
出版发行项：	北京:,北京大学出版社:,2003.10
载体形态项：	305页:;+26cm
一般附注：	普通高等教育“十五”国家级规划教材
提要文摘：	本书系统地讲述了硅集成电路制造的基础工艺。全书共十章，分别讲述了硅的晶体结构、硅集成电路制造中的单项工艺等内容。
题名主题：	硅栅MOS集成电路高等教育教材
题名主题：	硅栅MOS集成电路
中图分类：	TN432
个人名称等同：	关旭东编著
记录来源：	CN GGDT 20051011

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